一種掩膜版固定夾具

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121797956.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215391469U 公開（公告）日 2022-01-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN215391469U 申請(qǐng)公布日 2022-01-04
分類號(hào) B08B13/00（2006.01）I;B25B11/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 胡家銘;羅雪春 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 拓維高科（成都）新材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都九鼎天元知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 何祖斌
地址 621000四川省成都市成都高新區(qū)康強(qiáng)一路1188號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于掩膜版清洗設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種掩膜版固定夾具。其技術(shù)方案為：一種掩膜版固定夾具，包括外框架，外框架內(nèi)設(shè)置有若干Sensor感應(yīng)部，外框架內(nèi)還固定有若干結(jié)構(gòu)支撐架，結(jié)構(gòu)支撐架內(nèi)安裝有用于放置掩膜版的承載底板，結(jié)構(gòu)支撐架上設(shè)置有若干移動(dòng)架，移動(dòng)架上連接有若干固定擋塊，移動(dòng)架與結(jié)構(gòu)支撐架之間連接有用于鎖緊移動(dòng)架的鎖緊件。本實(shí)用新型提供了一種可用于對(duì)不同尺寸的掩膜版清洗的掩膜版固定夾具。