LED用節(jié)能型藍寶石晶片襯底清洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022944939.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214441420U 公開（公告）日 2021-10-22
申請公布號 CN214441420U 申請公布日 2021-10-22
分類號 B08B3/12;B08B5/02;F26B21/00;F26B25/06;B01D46/10 分類 清潔;
發(fā)明人 易晶晶;張艷紅;林德肖 申請（專利權(quán)）人 云南藍晶科技有限公司
代理機構(gòu) 成都市鼎宏恒業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 陳康
地址 653100 云南省玉溪市紅塔區(qū)北城鎮(zhèn)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及晶片加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及LED用節(jié)能型藍寶石晶片襯底清洗裝置，機體右端設(shè)置有清洗入口；機體內(nèi)由右至左依次設(shè)置有除塵倉、清洗倉和烘干倉；倉室間設(shè)置有倉板隔開；倉板上部設(shè)置有開口；除塵倉內(nèi)上部兩側(cè)倉壁上對向設(shè)置有除塵出風(fēng)口；清洗倉內(nèi)設(shè)置有超聲波清洗池；烘干倉頂部設(shè)置有烘干出風(fēng)口；烘干出風(fēng)口連接熱風(fēng)進風(fēng)管；熱風(fēng)進風(fēng)管上設(shè)置有風(fēng)機A；風(fēng)機A另一端連接進風(fēng)口；機體頂部設(shè)置有傳送帶；傳送帶上設(shè)置有掛鉤座；掛鉤座底部設(shè)置有拉桿；拉桿連接晶片固定欄；拉桿為伸縮結(jié)構(gòu)設(shè)置；機體右端設(shè)置有清洗出口，解決的晶片襯底清洗效率低的問題。