LED用藍寶石晶片襯底雙面精磨裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022948187.1 申請日 -
公開(公告)號 CN213304085U 公開(公告)日 2021-05-28
申請公布號 CN213304085U 申請公布日 2021-05-28
分類號 H01L21/67(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 胡文宏;蘇開賢;易晶晶 申請(專利權(quán))人 云南藍晶科技有限公司
代理機構(gòu) 成都市鼎宏恒業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 陳康
地址 653100云南省玉溪市紅塔區(qū)北城鎮(zhèn)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及晶片加工技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及LED用藍寶石晶片襯底雙面精磨裝置,箱體通過轉(zhuǎn)軸連接箱蓋;箱體內(nèi)設(shè)置有多個工磨槽;工磨槽底部設(shè)置有磨盤A;磨盤A底部設(shè)置有磨盤轉(zhuǎn)齒;磨盤轉(zhuǎn)齒與電機轉(zhuǎn)齒嚙合;電機轉(zhuǎn)齒連接電機A;加工磨槽內(nèi)設(shè)置有襯板支架;襯板支架上設(shè)置有晶片襯板;晶片襯板上下兩面分別設(shè)置有加工墊片;加工墊片上設(shè)置有限位板;位于加工磨槽上方同一位置的箱蓋上設(shè)置有磨盤B;磨盤B連接電機A,解決晶片精磨效率較低的問題。??