一種4寸LED藍(lán)寶石襯底的雙面減薄加工裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022947188.4 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN214685935U 公開(kāi)(公告)日 2021-11-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN214685935U 申請(qǐng)公布日 2021-11-12
分類(lèi)號(hào) B24B37/08(2012.01)I;B24B37/34(2012.01)I;B24B57/02(2006.01)I;B24B49/04(2006.01)I 分類(lèi) 磨削;拋光;
發(fā)明人 蘇開(kāi)賢;李國(guó)紅;李金 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 云南藍(lán)晶科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都市鼎宏恒業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 代理人 陳康
地址 653100云南省玉溪市紅塔區(qū)北城鎮(zhèn)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及晶片加工技術(shù)領(lǐng)域,具體涉及4寸LED藍(lán)寶石襯底的雙面減薄加工裝置,機(jī)體上部設(shè)置有下研磨盤(pán);下研磨盤(pán)連接轉(zhuǎn)軸A;轉(zhuǎn)軸A連接電機(jī)A;下研磨盤(pán)上方設(shè)置有上研磨盤(pán);上研磨盤(pán)連接轉(zhuǎn)軸B;轉(zhuǎn)軸B為伸縮結(jié)構(gòu)設(shè)置;轉(zhuǎn)軸B連接電機(jī)B;上研磨盤(pán)上設(shè)置有磨削液槽;磨削液槽底部連接進(jìn)液管;進(jìn)液管連接至上研磨盤(pán)內(nèi);磨削液槽上方設(shè)置有供液管;供液管為伸縮結(jié)構(gòu)設(shè)置;供液管分別連接水泵和蠕動(dòng)泵;水泵連接儲(chǔ)液罐A;儲(chǔ)液罐A頂部設(shè)置有進(jìn)液口A;蠕動(dòng)泵連接儲(chǔ)液罐B;儲(chǔ)液罐B存儲(chǔ)有碳化硼、懸浮劑;儲(chǔ)液罐B頂部設(shè)置有進(jìn)液口,解決藍(lán)寶石襯底磨削加工效率低、成本高的問(wèn)題。