一種單晶硅橢圓形旋片隔離閥機構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210131948.5 申請日 -
公開（公告）號 CN114165602A 公開（公告）日 2022-03-11
申請公布號 CN114165602A 申請公布日 2022-03-11
分類號 F16K1/00（2006.01）I;F16K1/32（2006.01）I;F16K1/36（2006.01）I;F16K27/02（2006.01）I;F16K31/12（2006.01）I;C30B15/02（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 工程元件或部件；為產(chǎn)生和保持機器或設(shè)備的有效運行的一般措施；一般絕熱;
發(fā)明人 尹嘉琦;李歡;辛珊;江佳飛 申請（專利權(quán)）人 新沂中大節(jié)能科技有限公司
代理機構(gòu) 無錫蘇元專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 王清偉
地址 221400江蘇省徐州市新沂市高流鎮(zhèn)石澗村205國道北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及單晶硅加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種單晶硅橢圓形旋片隔離閥機構(gòu)。一種單晶硅橢圓形旋片隔離閥機構(gòu)，包括前閥體、后閥體、閥板、第一驅(qū)動氣缸、第二驅(qū)動氣缸和外殼，所述前閥體的側(cè)面固定安裝有后閥體，前閥體的內(nèi)部安裝有閥板，前閥體的上方固定安裝有真空接口，前閥體和后閥體之間安裝有鎖緊套，前閥體的前端固定安裝有檢測視窗，所述閥板的側(cè)面固定設(shè)置有閥臂。本發(fā)明的有益效果是：該單晶硅橢圓形旋片隔離閥機構(gòu)，在現(xiàn)有的基礎(chǔ)上進行改進，利用前閥體和后閥體使得該裝置的安裝空間能得到充分利用，設(shè)備結(jié)構(gòu)更加緊湊，同等條件廠房中可以布局更多數(shù)量的設(shè)備，提高拉晶產(chǎn)能。