一種晶圓框架的承載箱

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120658312.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214588770U 公開(kāi)（公告）日 2021-11-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN214588770U 申請(qǐng)公布日 2021-11-02
分類(lèi)號(hào) H01L21/673（2006.01）I 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 李蛇宏;楊益東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 四川明泰微電子科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 成都誠(chéng)中致達(dá)專利代理有限公司 代理人 曹宇杰
地址 629000 四川省遂寧市經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)德泉路微電子工業(yè)園
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請(qǐng)?zhí)峁┮环N晶圓框架的承載箱，包括：殼體和門(mén)板，殼體呈矩形框結(jié)構(gòu)，門(mén)板沿豎直向下插設(shè)于殼體側(cè)面的開(kāi)口處，殼體兩側(cè)壁內(nèi)表面沿豎直方向設(shè)有多組卡槽，卡槽的進(jìn)口端設(shè)有擋塊，擋塊朝向殼體內(nèi)部的側(cè)面為凹槽結(jié)構(gòu)，擋塊具有彈性，擋塊在卡槽長(zhǎng)度方向的投影視圖上將卡槽的開(kāi)口遮蔽；殼體背面對(duì)應(yīng)每組卡槽均開(kāi)設(shè)有通孔，通孔均設(shè)有橡膠墊，橡膠墊中部具有交叉型開(kāi)口，殼體外壁對(duì)應(yīng)通孔均同軸設(shè)有導(dǎo)向套；殼體底部沿晶圓框架的出料方向設(shè)有兩根導(dǎo)向條，用于承載箱與設(shè)備連接，殼體底部設(shè)有定位孔座，用于設(shè)備對(duì)承載箱進(jìn)行定位。具有良好的密封效果以及定位結(jié)構(gòu)。