一種太陽(yáng)能電池的雙面鈍化方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201410775995.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN104465879B 公開（公告）日 2017-11-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN104465879B 申請(qǐng)公布日 2017-11-10
分類號(hào) H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 傅建奇;幺文捷;杜飛龍;李補(bǔ)忠;張勤杰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京飛行博達(dá)電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 北京飛行博達(dá)電子有限公司;北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
地址 101204 北京市平谷區(qū)馬坊工業(yè)西區(qū)316號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種太陽(yáng)能電池的雙面鈍化方法，改進(jìn)了現(xiàn)有的雙面鈍化方法，在低壓化學(xué)氣相沉積反應(yīng)腔室中進(jìn)行，反應(yīng)腔室中具有夾持器件，包括：將多個(gè)半導(dǎo)體器件襯底以一定的間隔排列于反應(yīng)腔室的夾持器件上；半導(dǎo)體器件襯底的兩面均暴露出來(lái)；采用低壓氣相沉積工藝向半導(dǎo)體器件襯底的兩面同時(shí)沉積鈍化膜；其中，所采用的反應(yīng)氣體同時(shí)進(jìn)入半導(dǎo)體器件襯底的兩面且同時(shí)在半導(dǎo)體器件襯底的兩面以熱激活方式沉積鈍化膜從而在反應(yīng)腔中實(shí)現(xiàn)兩面同時(shí)沉積鈍化膜的過(guò)程，克服了現(xiàn)有的雙面鈍化工藝只能在一面沉積的弊端；其可以應(yīng)用于規(guī)?；a(chǎn)，可以減小硅片與晶舟之間的摩擦，增加電池工藝穩(wěn)定性，并且簡(jiǎn)化了工藝步驟，提升了生產(chǎn)效率和降低了成本。