太陽能電池背面鈍化方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510104406.9 申請日 -
公開（公告）號 CN104701390B 公開（公告）日 2017-01-25
申請公布號 CN104701390B 申請公布日 2017-01-25
分類號 H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張勤杰;傅建奇;李建國;張燕 申請（專利權(quán)）人 北京飛行博達(dá)電子有限公司
代理機構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 陶金龍;張磊
地址 101204 北京市平谷區(qū)馬坊工業(yè)西區(qū)316號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種太陽能電池背面鈍化方法，對太陽能電池的背面采用Al2O3/SiO2/高硅含量SiNx/低硅含量SiNx的四層疊層鈍化膜進行鈍化，通過增加SiO2層的沉積，可以有效消除高硅含量SiNx固定正電荷的影響，降低Al2O3的最小厚度，高硅含量的SiNx可以繼續(xù)保證對硅表面的氫鈍化效果，而利用低硅含量的SiNx可以防止鋁燒結(jié)過程中對內(nèi)層膜的侵蝕，可實現(xiàn)鈍化膜總厚度的明顯降低，進一步提高產(chǎn)能，節(jié)約工藝總成本，并符合規(guī)模化生產(chǎn)的要求。