一種石墨舟片

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201621039041.2 申請日 -
公開（公告）號 CN206022408U 公開（公告）日 2017-03-15
申請公布號 CN206022408U 申請公布日 2017-03-15
分類號 H01L31/18(2006.01)I;H01L21/673(2006.01)I;C23C16/458(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 傅建奇;姚雁林;杜飛龍 申請（專利權(quán)）人 北京飛行博達電子有限公司
代理機構(gòu) 上海天辰知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 北京飛行博達電子有限公司;北京北方華創(chuàng)微電子裝備有限公司
地址 101204 北京市平谷區(qū)馬坊工業(yè)西區(qū)316號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種石墨舟片，通過在石墨舟片表面設置硅片放置區(qū)域，在硅片放置區(qū)域內(nèi)設置鏤空區(qū)域，在硅片放置區(qū)域的周邊設置卡點，在硅片放置區(qū)域和石墨卡點之外的石墨舟片表面設置不溶于強酸性藥液的介質(zhì)薄膜，從而石墨舟片不經(jīng)飽和工藝就能提高硅片鍍膜的均勻性，還簡化了步驟，降低了成本。