動(dòng)態(tài)配氣及供氣裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811537338.5 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN109550416B 公開(公告)日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN109550416B 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) B01F3/02;B01F15/00;B01F15/04;B01F15/06 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 劉海東;趙金龍;劉飛平 申請(qǐng)(專利權(quán))人 力合科技(湖南)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 長沙智嶸專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 劉宏
地址 410205 湖南省長沙市高新區(qū)青山路668號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種動(dòng)態(tài)配氣及供氣裝置,載氣在動(dòng)態(tài)配氣及供氣裝置的作用下,形成連續(xù)不斷的標(biāo)氣,動(dòng)態(tài)配氣及供氣裝置內(nèi)部形成可交替切換的配氣通道,所述配氣通道包括,流量控制模塊、第一通道控制模塊、滲透模塊、第二通道控制模塊;其中,載氣流經(jīng)流量控制模塊后,在第一通道控制模塊的調(diào)配下,并行進(jìn)入滲透模塊的滲透腔內(nèi),經(jīng)第二通道控制模塊的調(diào)控,匯集和/或連通空氣端排空;通過將滲透腔設(shè)置成彼此獨(dú)立,互不干涉,且溫度可獨(dú)立控制的多個(gè)滲透腔室,實(shí)現(xiàn)對(duì)單個(gè)滲透腔室內(nèi)的滲透率實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)的控制,彌補(bǔ)實(shí)際溫度與控制溫度差異帶來的誤差,根據(jù)實(shí)際溫度對(duì)滲透率進(jìn)行補(bǔ)償修正,提高配氣準(zhǔn)確度。