動態(tài)配氣及供氣裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811537338.5 申請日 -
公開(公告)號 CN109550416B 公開(公告)日 2021-09-10
申請公布號 CN109550416B 申請公布日 2021-09-10
分類號 B01F3/02;B01F15/00;B01F15/04;B01F15/06 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 劉海東;趙金龍;劉飛平 申請(專利權(quán))人 力合科技(湖南)股份有限公司
代理機構(gòu) 長沙智嶸專利代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 劉宏
地址 410205 湖南省長沙市高新區(qū)青山路668號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種動態(tài)配氣及供氣裝置,載氣在動態(tài)配氣及供氣裝置的作用下,形成連續(xù)不斷的標(biāo)氣,動態(tài)配氣及供氣裝置內(nèi)部形成可交替切換的配氣通道,所述配氣通道包括,流量控制模塊、第一通道控制模塊、滲透模塊、第二通道控制模塊;其中,載氣流經(jīng)流量控制模塊后,在第一通道控制模塊的調(diào)配下,并行進入滲透模塊的滲透腔內(nèi),經(jīng)第二通道控制模塊的調(diào)控,匯集和/或連通空氣端排空;通過將滲透腔設(shè)置成彼此獨立,互不干涉,且溫度可獨立控制的多個滲透腔室,實現(xiàn)對單個滲透腔室內(nèi)的滲透率實現(xiàn)精準(zhǔn)的控制,彌補實際溫度與控制溫度差異帶來的誤差,根據(jù)實際溫度對滲透率進行補償修正,提高配氣準(zhǔn)確度。