靶材制備方法、裝置和靶材

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201910584845.2 申請日 -
公開（公告）號 CN112176294A 公開（公告）日 2021-01-05
申請公布號 CN112176294A 申請公布日 2021-01-05
分類號 C23C14/34(2006.01)I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 王云能;徐國軍;張蛟;阮華清 申請（專利權(quán)）人 東君新能源有限公司
代理機構(gòu) 北京智晨知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 領(lǐng)凡新能源科技（北京）有限公司
地址 101407北京市懷柔區(qū)雁棲經(jīng)濟開發(fā)區(qū)樂園大街38號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種靶材制備方法、裝置和靶材，涉及靶材制備領(lǐng)域，能夠制備出中間薄兩端厚的骨性靶材，從而解決靶材有效利用率低的問題。所述靶材制備方法，包括：采用熱噴涂方式，在旋轉(zhuǎn)的背襯管上噴涂靶材層，所述噴槍在所述背襯管的端部區(qū)域的噴涂量大于所述噴槍在所述背襯管的中間區(qū)域的噴涂量；對形成的靶材層的進行機械加工，使靶材各部分的靶材層厚度大體上與其在濺射時的消耗速度成正比。??