邊發(fā)射激光器芯片級(jí)老化測(cè)試系統(tǒng)以及方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202210095601.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN114636915A 公開（公告）日 2022-06-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN114636915A 申請(qǐng)公布日 2022-06-17
分類號(hào) G01R31/28（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 向欣;龍浩 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 武漢云嶺光電股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京匯澤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 430223湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)長城園路2號(hào)武漢澳新科技1號(hào)廠房102室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及芯片老化技術(shù)領(lǐng)域，提供了一種邊發(fā)射激光器芯片級(jí)老化測(cè)試系統(tǒng)，包括用于安置芯片的老化板以及供老化板安裝的老化夾具，老化板有多個(gè)，各老化板疊層安裝在老化夾具上；系統(tǒng)還包括用于驅(qū)使任一老化板靠近或遠(yuǎn)離其下方的老化板以完成定位的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)。還提供一種邊發(fā)射激光器芯片級(jí)老化測(cè)試方法。本發(fā)明可以直接在非封裝狀態(tài)下的邊發(fā)射激光器芯片上進(jìn)行加電進(jìn)行老化測(cè)試，避免封裝成本的增加；不依靠MPD，可以直接檢測(cè)在激光器芯片老化過程中箱體內(nèi)不同時(shí)間下的激光器芯片的前、后實(shí)時(shí)的出光功率，排除MPD芯片是否不良的因素的干擾，從而能夠得到真實(shí)、有效的激光器芯片的可靠數(shù)據(jù)，為分析不良品可靠性問題提供了極大的真實(shí)性和便利性。