一種小發(fā)散角半導(dǎo)體激光器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011037170.9 申請日 -
公開（公告）號 CN112217093B 公開（公告）日 2021-11-30
申請公布號 CN112217093B 申請公布日 2021-11-30
分類號 H01S5/10（2021.01）I;H01S5/343（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳志標(biāo) 申請（專利權(quán)）人 武漢云嶺光電股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京匯澤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 代嬋
地址 430223湖北省武漢市東湖新技術(shù)開發(fā)區(qū)華中科技大學(xué)產(chǎn)業(yè)園正源光子產(chǎn)業(yè)園內(nèi)2幢1層1-5號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種小發(fā)散角半導(dǎo)體激光器及其制備方法，該小發(fā)散角半導(dǎo)體激光器包括半導(dǎo)體激光器本體以及設(shè)置在半導(dǎo)體激光器本體出光端的一側(cè)或者兩側(cè)的模斑轉(zhuǎn)換器，在模斑轉(zhuǎn)換器區(qū)域設(shè)置有模場擴(kuò)展層，該模場擴(kuò)展層設(shè)置在有源層的上方，激光器本體和模斑轉(zhuǎn)換器具有相同的有源層，模場擴(kuò)展層僅設(shè)置在模斑轉(zhuǎn)換器區(qū)域，模場擴(kuò)展層將激光器模式擴(kuò)大，從而降低發(fā)散角。該小發(fā)散角半導(dǎo)體激光器僅僅在模斑轉(zhuǎn)換器區(qū)域設(shè)置有模場擴(kuò)展層，同時該模場擴(kuò)展層設(shè)置在有源層上方，不對有源層進(jìn)行刻蝕，對激光器的性能影響很小的條件下獲得小發(fā)散角。