一種基片卡夾裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110778405.8 申請日 -
公開（公告）號 CN113697711A 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN113697711A 申請公布日 2021-11-26
分類號 B66F7/02（2006.01）I;B66F7/28（2006.01）I;H01L21/677（2006.01）I 分類 卷揚；提升；牽引;
發(fā)明人 吳龍 申請（專利權(quán)）人 天津中科晶禾電子科技有限責任公司
代理機構(gòu) 天津市尚儀知識產(chǎn)權(quán)代理事務所（普通合伙） 代理人 鄧琳
地址 300450天津市濱海新區(qū)塘沽海洋科技園信安創(chuàng)業(yè)廣場5號樓2001
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基片卡夾裝置，包括卸載傳輸帶和用于安裝基片卡夾裝置的矩形支架，卸載傳輸帶位于矩形支架的底部，矩形支架的正側(cè)和背側(cè)均設置有工字架，矩形支架的兩側(cè)分別設置有第一卸載機構(gòu)和第二卸載機構(gòu)。本發(fā)明通過設置第一卸載機構(gòu)和第二卸載機構(gòu)，第一同步帶外齒和第二同步帶外齒相對運動使其張角變小，達到對基片裝載到卡夾內(nèi)的目的，第一同步帶外齒與第二同步帶外齒向下移動，當分別與第一同步帶底輪和第二同步帶底輪嚙合時，張角逐漸變大，使基片下降至卸載傳輸帶，完成卸載，利用第一同步帶外齒和第二同步帶外齒的張角變化，可以很好的解決變形基片裝卸載問題，且卸載端無需機械手，保證了產(chǎn)品質(zhì)量。