一種基片定位裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110778398.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113594075A 公開（公告）日 2021-11-02
申請公布號 CN113594075A 申請公布日 2021-11-02
分類號 H01L21/68（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 吳龍 申請（專利權(quán)）人 天津中科晶禾電子科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 天津市尚儀知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 鄧琳
地址 300450天津市濱海新區(qū)塘沽海洋科技園信安創(chuàng)業(yè)廣場5號樓2001
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基片定位裝置，包括活塞缸缸體，活塞缸缸體的一端固定連接有驅(qū)動連接板，活塞缸缸體的內(nèi)部設(shè)置有活塞桿和活塞彈簧，活塞桿的一端設(shè)置有定位銷和錐面擺動推塊，活塞桿的中部固定連接有阻尼限位塊，活塞缸缸體底端一側(cè)的正面和背面均設(shè)置有阻尼機(jī)構(gòu)，兩個(gè)阻尼機(jī)構(gòu)均由一個(gè)固定連接板、一個(gè)L形阻尼桿、兩個(gè)阻尼彈簧和一個(gè)限位螺栓組成。該種基片定位裝置，當(dāng)基片移動至錐面擺動推塊正前方時(shí)，外部氣缸通過驅(qū)動連接板將整個(gè)定位裝置前推，使得基片與錐面擺動推塊自由接觸，屬于柔性推基片，并且錐面擺動推塊套牢歸正，完成基片推正，使基片位置不易偏斜，進(jìn)而防止基片擠碎。