一種基于亞波長(zhǎng)光柵的超靈敏折射率光生物傳感器

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110509050.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113418893A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN113418893A 申請(qǐng)公布日 2021-09-21
分類號(hào) G01N21/41（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 李旭峰;趙亞麗;劉成林;杜建功;楊扉;王欣 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山西恒光微電子集成科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 太原晉科知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 趙江艷
地址 030051山西省太原市中北高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)瑞盛生物科技產(chǎn)業(yè)園豐源西路25號(hào)（綜合創(chuàng)新樓）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明屬于生物傳感器領(lǐng)域，具體涉及一種基于亞波長(zhǎng)光柵的超靈敏折射率光生物傳感器，包括石英襯底和依次設(shè)置在石英襯底上的金薄膜、含氟聚合物Cytop薄膜層和光柵波導(dǎo)層，光柵波導(dǎo)層為氮化硅材料制成的表面浮雕光柵結(jié)構(gòu)，光柵波導(dǎo)層上方由待測(cè)液體樣品覆蓋。本發(fā)明通過(guò)在光柵和金屬薄膜之間插入了含氟聚合物Cytop薄膜，實(shí)現(xiàn)了導(dǎo)模共振極窄的半高寬，而且，計(jì)算表明，改變?cè)摫∧さ暮穸?，?duì)入射共振角的影響不大，但半高寬可以得到極大地提高，約為0.0005°，此時(shí)的折射率變化為~4x10，因此，本發(fā)明可以極大地提高傳感器的靈敏度。