一種籽晶生長裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911161658.X 申請日 -
公開（公告）號 CN111074347A 公開（公告）日 2020-04-28
申請公布號 CN111074347A 申請公布日 2020-04-28
分類號 C30B29/36;C30B23/00;C30B25/02 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 匡怡君 申請（專利權(quán)）人 上海大晶磊半導(dǎo)體科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京市海問律師事務(wù)所 代理人 浙江大晶磊半導(dǎo)體科技有限公司;上海聯(lián)興商務(wù)咨詢中心
地址 313009 浙江省湖州市南潯經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)適園西路北、南潯大道西14幢一樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種籽晶生長裝置，所述裝置包括外坩堝、內(nèi)坩堝和坩堝蓋，所述內(nèi)坩堝呈頂部開口結(jié)構(gòu)，所述內(nèi)坩堝包括拉桿，所述拉桿垂直固定于所述內(nèi)坩堝的底部中心處；所述坩堝蓋的下表面中心包括小孔；所述拉桿與所述小孔活動(dòng)連接；所述坩堝蓋蓋合于所述外坩堝的頂部開口處，使得所述內(nèi)坩堝位于所述外坩堝的內(nèi)部空間，所述內(nèi)坩堝的外壁與所述外坩堝的內(nèi)壁、所述坩堝蓋的下表面不觸碰；所述外坩堝底部中心包括圓柱形籽晶平臺(tái)，用于固定籽晶。本發(fā)明提供的坩堝可以避免因晶體逆向生長所導(dǎo)致粘接不均勻以及晶體內(nèi)應(yīng)力增加的缺陷。