一種真空干泵內(nèi)部流場(chǎng)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201811600707.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN111365220B | 公開（公告）日 | 2021-06-01 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN111365220B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-01 |
| 分類號(hào) | F04B51/00（2006.01）I | 分類 | 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵; |
| 發(fā)明人 | 劉坤;關(guān)天恩;雷震霖;王光玉;孔祥玲;畢德龍;段啟惠;遲小宇;陳樹雷;杜廣煜;巴德純 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 沈陽(yáng)科苑專利商標(biāo)代理有限公司 | 代理人 | 汪海 |
| 地址 | 110169遼寧省沈陽(yáng)市渾南區(qū)創(chuàng)新路195號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及真空干泵測(cè)試領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種真空干泵內(nèi)部流場(chǎng)參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)，包括待測(cè)真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一維持泵、第二維持泵和氣瓶，第一真空室與待測(cè)真空干泵的進(jìn)氣口相連，第二真空室與待測(cè)真空干泵的出氣口相連，第一維持泵和氣瓶分別與第一真空室相連，第二真空室與第二維持泵相連，在氣待測(cè)真空干泵的進(jìn)氣口和出氣口內(nèi)均設(shè)有溫度傳感器，在氣待測(cè)真空干泵內(nèi)設(shè)有多個(gè)壓力傳感器，所述壓力傳感器包括封裝層、壓感膜和電感線圈，在待測(cè)真空干泵外側(cè)與各個(gè)壓力傳感器對(duì)應(yīng)的位置均固設(shè)有耦合電感。本發(fā)明能夠更客觀地測(cè)量真空干泵內(nèi)部流場(chǎng)參數(shù)，并且不會(huì)對(duì)泵體造成過多損壞。?? |
