一種真空干泵內部流場參數測試系統

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811600707.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111365220A 公開（公告）日 2021-06-01
申請公布號 CN111365220A 申請公布日 2021-06-01
分類號 F04B51/00 分類 液體變容式機械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 劉坤;關天恩;雷震霖;王光玉;孔祥玲;畢德龍;段啟惠;遲小宇;陳樹雷;杜廣煜;巴德純 申請（專利權）人 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
代理機構 沈陽科苑專利商標代理有限公司 代理人 汪海
地址 110169 遼寧省沈陽市渾南區(qū)創(chuàng)新路195號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及真空干泵測試領域，具體地說是一種真空干泵內部流場參數測試系統，包括待測真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一維持泵、第二維持泵和氣瓶，第一真空室與待測真空干泵的進氣口相連，第二真空室與待測真空干泵的出氣口相連，第一維持泵和氣瓶分別與第一真空室相連，第二真空室與第二維持泵相連，在氣待測真空干泵的進氣口和出氣口內均設有溫度傳感器，在氣待測真空干泵內設有多個壓力傳感器，所述壓力傳感器包括封裝層、壓感膜和電感線圈，在待測真空干泵外側與各個壓力傳感器對應的位置均固設有耦合電感。本發(fā)明能夠更客觀地測量真空干泵內部流場參數，并且不會對泵體造成過多損壞。