一種真空干泵內(nèi)部流場參數(shù)測試系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811600707.0 申請日 -
公開（公告）號 CN111365220A 公開（公告）日 2021-06-01
申請公布號 CN111365220A 申請公布日 2021-06-01
分類號 F04B51/00 分類 液體變?nèi)菔綑C(jī)械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 劉坤;關(guān)天恩;雷震霖;王光玉;孔祥玲;畢德龍;段啟惠;遲小宇;陳樹雷;杜廣煜;巴德純 申請（專利權(quán)）人 中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 汪海
地址 110169 遼寧省沈陽市渾南區(qū)創(chuàng)新路195號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及真空干泵測試領(lǐng)域，具體地說是一種真空干泵內(nèi)部流場參數(shù)測試系統(tǒng)，包括待測真空干泵、第一真空室、第二真空室、第一維持泵、第二維持泵和氣瓶，第一真空室與待測真空干泵的進(jìn)氣口相連，第二真空室與待測真空干泵的出氣口相連，第一維持泵和氣瓶分別與第一真空室相連，第二真空室與第二維持泵相連，在氣待測真空干泵的進(jìn)氣口和出氣口內(nèi)均設(shè)有溫度傳感器，在氣待測真空干泵內(nèi)設(shè)有多個壓力傳感器，所述壓力傳感器包括封裝層、壓感膜和電感線圈，在待測真空干泵外側(cè)與各個壓力傳感器對應(yīng)的位置均固設(shè)有耦合電感。本發(fā)明能夠更客觀地測量真空干泵內(nèi)部流場參數(shù)，并且不會對泵體造成過多損壞。