一種干式真空泵內(nèi)部流場測量系統(tǒng)及測量方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201811601895.9 申請日 -
公開（公告）號 CN111366744A 公開（公告）日 2020-07-03
申請公布號 CN111366744A 申請公布日 2020-07-03
分類號 G01P5/00;G01N21/85 分類 -
發(fā)明人 劉坤;齊天緣;李昌龍;王光玉;劉在行;陳樹雷;趙雅璋;謝元華;巴德純 申請（專利權）人 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司
代理機構(gòu) 沈陽科苑專利商標代理有限公司 代理人 中國科學院沈陽科學儀器股份有限公司;東北大學
地址 110169 遼寧省沈陽市渾南區(qū)創(chuàng)新路195號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及真空泵測試領域，具體地說是一種干式真空泵內(nèi)部流場測量系統(tǒng)及測量方法，包括示蹤粒子發(fā)生組件、透明干式真空泵、脈沖激光器、片光源、CCD相機和同步控制器，其中脈沖激光器發(fā)出的脈沖激光經(jīng)片光源后射入透明干式真空泵的泵腔內(nèi)，CCD相機設于透明干式真空泵一側(cè)且鏡頭方向與所述片光源的照射方向垂直，所述脈沖激光器和CCD相機通過所述同步控制器控制。本發(fā)明利用示蹤粒子、脈沖激光器和CCD相機獲得透明干式真空泵在正常抽氣過程中泵腔流場內(nèi)的氣體流動特性，并且還可以模擬多級泵抽氣過程中某一級泵腔的抽氣情況，從而完成多級泵抽氣過程中單級泵腔的流場測量。