一種干式真空泵內(nèi)部流場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)及測(cè)量方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811601895.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN111366744A 公開（公告）日 2020-07-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN111366744A 申請(qǐng)公布日 2020-07-03
分類號(hào) G01P5/00;G01N21/85 分類 -
發(fā)明人 劉坤;齊天緣;李昌龍;王光玉;劉在行;陳樹雷;趙雅璋;謝元華;巴德純 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽(yáng)科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 中國(guó)科學(xué)院沈陽(yáng)科學(xué)儀器股份有限公司;東北大學(xué)
地址 110169 遼寧省沈陽(yáng)市渾南區(qū)創(chuàng)新路195號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及真空泵測(cè)試領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種干式真空泵內(nèi)部流場(chǎng)測(cè)量系統(tǒng)及測(cè)量方法，包括示蹤粒子發(fā)生組件、透明干式真空泵、脈沖激光器、片光源、CCD相機(jī)和同步控制器，其中脈沖激光器發(fā)出的脈沖激光經(jīng)片光源后射入透明干式真空泵的泵腔內(nèi)，CCD相機(jī)設(shè)于透明干式真空泵一側(cè)且鏡頭方向與所述片光源的照射方向垂直，所述脈沖激光器和CCD相機(jī)通過(guò)所述同步控制器控制。本發(fā)明利用示蹤粒子、脈沖激光器和CCD相機(jī)獲得透明干式真空泵在正常抽氣過(guò)程中泵腔流場(chǎng)內(nèi)的氣體流動(dòng)特性，并且還可以模擬多級(jí)泵抽氣過(guò)程中某一級(jí)泵腔的抽氣情況，從而完成多級(jí)泵抽氣過(guò)程中單級(jí)泵腔的流場(chǎng)測(cè)量。