一種高溫高真空退火爐

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202010194318.3 申請日 -
公開（公告）號 CN113493904A 公開（公告）日 2021-10-12
申請公布號 CN113493904A 申請公布日 2021-10-12
分類號 C23C14/56（2006.01）I;C23C16/54（2006.01）I;C23C14/58（2006.01）I;C23C16/56（2006.01）I;C21D9/00（2006.01）I;C21D1/26（2006.01）I;C21D1/773（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 白印;馬錦;李昌龍 申請（專利權(quán)）人 中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 沈陽科苑專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 白振宇
地址 110168遼寧省沈陽市渾南新區(qū)新源街1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及真空鍍膜實(shí)驗(yàn)設(shè)備，具體地說是一種高溫高真空退火爐，離子泵、退火室腔體、進(jìn)樣室腔體及分子泵依次連接，分子泵與機(jī)械泵通過管路相連，離子泵與退火室腔體之間、退火室腔體與進(jìn)樣室腔體之間以及進(jìn)樣室腔體與分子泵之間均設(shè)置有插板閥；退火室腔體內(nèi)設(shè)有固定的上加熱器及可上下升降的下加熱器，進(jìn)樣室腔體內(nèi)設(shè)有可上下升降的多層樣品庫，進(jìn)樣室腔體的一側(cè)安裝有手動傳遞桿機(jī)械手。本發(fā)明可在真空條件下快速和退火室完成樣品交換，保證退火室一直處于高真空狀態(tài)。本發(fā)明的高溫高真空退火爐，退火室的冷態(tài)極限真空度可達(dá)到10Pa超高真空，在加熱1600℃時(shí)熱態(tài)真空度可達(dá)到10Pa，而且可實(shí)現(xiàn)樣品不高于1600℃下的長時(shí)間保溫退火。