一種鋁選擇性腐蝕的高壓快速軟恢復(fù)二極管及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110955724.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113745348A 公開(kāi)（公告）日 2021-12-03
申請(qǐng)公布號(hào) CN113745348A 申請(qǐng)公布日 2021-12-03
分類號(hào) H01L29/861（2006.01）I;H01L21/329（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張磊;范曉波;王旭梅;張博炎;王銘揚(yáng);王智遠(yuǎn);劉世輝;劉航輝 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安文盛專利代理有限公司 代理人 彭冬英
地址 710077陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)二路13號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種鋁選擇性腐蝕的高壓快速軟恢復(fù)二極管及其制備方法，一種鋁選擇性腐蝕的高壓快速軟恢復(fù)二極管，從上往下依次設(shè)置有陽(yáng)極AL層、陽(yáng)極高濃度P區(qū)和低濃度P區(qū)、低濃度漂移N區(qū)、高濃度陰極N區(qū)和陰極AL層；所述的陽(yáng)極區(qū)由有源P區(qū)和終端P區(qū)構(gòu)成，其中陽(yáng)極AL層設(shè)置在腐蝕槽上方；所述的腐蝕槽設(shè)置在陽(yáng)極有源區(qū)。本發(fā)明還公開(kāi)了該種高壓快速軟恢復(fù)二極管的制備方法。本發(fā)明的結(jié)構(gòu)，減小了正向?qū)▔航?，浪涌電流能力和反向恢?fù)軟度因子明顯提高，在正向?qū)ê头聪蚧謴?fù)特性之間獲得更好折中。