一種光刻工藝勻膠機(jī)勻膠腔結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122342780.6 申請日 -
公開（公告）號 CN215940476U 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN215940476U 申請公布日 2022-03-04
分類號 B05C11/06（2006.01）I;B05C11/10（2006.01）I;G03F7/16（2006.01）I;B05C13/02（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 馬寧強(qiáng);王雙謀;陳濤;何舜晗 申請（專利權(quán)）人 西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 西安文盛專利代理有限公司 代理人 彭冬英
地址 710077陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)二路13號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種光刻工藝勻膠機(jī)勻膠腔結(jié)構(gòu)，主要包括包括勻膠腔外腔體結(jié)構(gòu)、勻膠頭機(jī)構(gòu)、支架機(jī)構(gòu)，本實(shí)用新型背膠保護(hù)罩一方面起到機(jī)械防護(hù)的作用，另一方面通過注入氮?dú)?，在背膠保護(hù)罩與芯片之間形成微正壓環(huán)境，氮?dú)鈿饬鲝谋衬z保護(hù)罩下面進(jìn)入，從背膠保護(hù)罩與芯片之間的縫隙排出，對膠絲起到吹掃作用，做到了雙重防護(hù)功能。配合勻膠頭機(jī)構(gòu)的取片和勻膠兩個工作狀態(tài)，通過芯片背面的保護(hù)罩機(jī)械保護(hù)和氮?dú)獗Ｗo(hù)雙重保護(hù)功能，實(shí)現(xiàn)了芯片在勻光刻膠的過程中背膠保護(hù)功能，徹底解決了背膠玷污問題，擺脫了工藝返工，節(jié)約人工和材料，提高了工藝質(zhì)量，本實(shí)用新型既可以實(shí)現(xiàn)涂甩光刻膠的基本功能，同時又能實(shí)現(xiàn)背膠防濺保護(hù)功能，達(dá)到工藝目的。