一種雙向精準擊穿防爆晶閘管及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210118203.5 申請日 -
公開(公告)號 CN114361255A 公開(公告)日 2022-04-15
申請公布號 CN114361255A 申請公布日 2022-04-15
分類號 H01L29/74(2006.01)I;H01L29/167(2006.01)I;H01L21/332(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 任成林;郭永忠;張磊;周競宇;胡雨龍;范曉波;張歧寧;張剛琦;張猛 申請(專利權)人 西安派瑞功率半導體變流技術股份有限公司
代理機構 西安文盛專利代理有限公司 代理人 彭冬英
地址 710077陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)二路13號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種雙向精準擊穿防爆晶閘管及其制備方法,所述的雙向晶閘管分為A管和B管,其反向并聯(lián)對稱,A管陽極對應B管陰極,A管陰極對應B管陽極,A管和B管通過高阻P?區(qū)實現(xiàn)隔離。A管從上往下,對應的B管為從下往上,依次設置陰極側鋁層,包括中心門極鋁層、放大門極鋁層以及陰極鋁層,中心門極P+區(qū)和陰極N+區(qū),陰極P?區(qū),N?基區(qū),陽極P?區(qū),陽極高濃度P+區(qū)和陽極鋁層。本發(fā)明晶閘管,在陽極P?區(qū)與P+區(qū)之間,靠近中心線內置了較高濃度的內置N+區(qū),寄生了PNP晶體管,其N?基區(qū)設計為電場穿通型,可以實現(xiàn)雙向晶閘管的防爆和精準擊穿功能。主要應用于柔性直流輸電系統(tǒng)中,保護并聯(lián)的IGBT器件。