一種旁路晶閘管及其制造方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210146872.3 申請日 -
公開（公告）號 CN114400254A 公開（公告）日 2022-04-26
申請公布號 CN114400254A 申請公布日 2022-04-26
分類號 H01L29/74（2006.01）I;H01L21/332（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 張磊;楊俊艷;李暢;趙田;張歧寧;王國衛(wèi);胡茜;黨敏青 申請（專利權(quán)）人 西安派瑞功率半導(dǎo)體變流技術(shù)股份有限公司
代理機構(gòu) 西安文盛專利代理有限公司 代理人 彭冬英
地址 710077陜西省西安市高新區(qū)錦業(yè)二路13號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種旁路晶閘管及其制造方法，從上往下依次設(shè)置有陰極側(cè)鋁層，陰極N+區(qū)，陰極P?區(qū)，N?基區(qū)，陽極P?區(qū)，陽極P+區(qū)和陽極鋁層。在陰極側(cè)中心設(shè)有溝槽，其表面設(shè)有門極P+區(qū)，正對門極P+區(qū)下方設(shè)有凸出的波狀型P?基區(qū)，在正對波狀P?區(qū)的陽極側(cè)表面設(shè)置有高濃度N+區(qū)。當(dāng)本發(fā)明結(jié)構(gòu)的門極施加觸發(fā)信號后，晶閘管可以實現(xiàn)正向?qū)ǎ划?dāng)陽?陰極超過反向擊穿電壓后，晶閘管能夠?qū)崿F(xiàn)精準電壓擊穿，且擊穿位于中心門極處，具有防爆功能。本發(fā)明結(jié)構(gòu)主要應(yīng)用于柔性直流輸電系統(tǒng)中，保護換流閥功率子模塊安全運行。