一種晶棒翻轉(zhuǎn)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120748947.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215100631U 公開（公告）日 2021-12-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN215100631U 申請(qǐng)公布日 2021-12-10
分類號(hào) B65G49/05（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 李全普;鞠修勇;張師春;蔡振東;孫明波;賀成;金芝成 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 大連久卉科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 大連智高專利事務(wù)所（特殊普通合伙） 代理人 李猛
地址 116600遼寧省大連市中國(guó)（遼寧）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)大連保稅區(qū)華鐵工業(yè)園3號(hào)1-2層2-116
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型屬于晶棒移動(dòng)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種晶棒翻轉(zhuǎn)裝置。包括兩個(gè)架體、伺服電機(jī)、軸承，兩個(gè)架體的上方分別設(shè)有固定座，兩個(gè)固定座上分別設(shè)有固定板，兩個(gè)固定座之間通過軸承和兩個(gè)固定板連接，所述兩個(gè)固定板的上方設(shè)有晶棒放置板，所述晶棒放置板的下方安設(shè)有壓緊氣缸，晶棒放置板的端部一側(cè)還設(shè)有拉桿氣缸；其中一個(gè)架體上方設(shè)有伺服電機(jī)，伺服電機(jī)前端連接有減速機(jī)，減速機(jī)前端連接齒輪A，齒輪A與另一個(gè)齒輪B咬合連接，齒輪B設(shè)置在軸承上，與齒輪B相臨的一側(cè)固定板上設(shè)有接近開關(guān)。該裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，便于操作，節(jié)約成本，提高工作效率。