一種半導體烘箱氮氣調(diào)節(jié)裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201510237039.X 申請日 -
公開（公告）號 CN104896908B 公開（公告）日 2020-03-06
申請公布號 CN104896908B 申請公布日 2020-03-06
分類號 F26B21/14;H01L21/67;F16K3/02;F16K3/32 分類 干燥;
發(fā)明人 彭勇;王明輝;李宏圖;趙從壽;陶佩;周根強;石永洪 申請（專利權(quán)）人 池州華鈦半導體有限公司
代理機構(gòu) 蘇州市指南針專利代理事務所（特殊普通合伙） 代理人 池州華鈦半導體有限公司;池州華宇電子科技有限公司
地址 247099 安徽省池州市經(jīng)濟技術(shù)開發(fā)區(qū)電子信息產(chǎn)業(yè)園10號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種半導體烘箱氮氣調(diào)節(jié)裝置，包括箱體、前門、支架、內(nèi)膽、進氣接口、氮氣調(diào)節(jié)閥、進氣管、出氣接口、出氣管、風機、托盤，工作時，直線電機通過絲杠帶動閥芯做直線運動，使得氮氣通過氮氣調(diào)節(jié)閥進入內(nèi)膽與箱體之間的空腔內(nèi)，由于內(nèi)膽設置有氮氣吹入孔，氮氣通過氮氣吹入孔進入內(nèi)膽內(nèi)部，同時風機工作，使得氮氣在內(nèi)膽內(nèi)部由下而上經(jīng)過每個半導體后被排出箱體。該裝置結(jié)構(gòu)簡單，調(diào)節(jié)直線電機轉(zhuǎn)動角度可以調(diào)劑氮氣進氣量，從而實現(xiàn)氮氣進氣量調(diào)節(jié)，均勻分布在內(nèi)膽內(nèi)壁左右兩側(cè)的氮氣吹入孔使得內(nèi)膽內(nèi)氮氣均勻分布，有效保護半導體，大大提高成品合格率，提高經(jīng)濟效益。