一種含有特定粘合劑及增塑劑的干膜光阻劑

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201110047382.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN102650826A 公開（公告）日 2012-08-29
申請(qǐng)公布號(hào) CN102650826A 申請(qǐng)公布日 2012-08-29
分類號(hào) G03F7/004(2006.01)I;G03F7/033(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 邱紅斌;陸德凱 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 中山市立順實(shí)業(yè)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海天翔知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中山市立順實(shí)業(yè)有限公司;珠海市能動(dòng)科技光學(xué)產(chǎn)業(yè)有限公司
地址 528437 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)科技大道北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種水溶液顯影的干膜光阻劑，其組份中含有高分子粘合劑、游離基光引發(fā)劑、可加聚單體、增塑劑以及熱聚合抑制劑，其特征在于：高分子粘合劑是一種含有羧基的可形成薄膜的粘合劑，是由下述的混合物聚合得到：該混合物包括(a)分子式為H2C＝CRCOO〔(CnH2n)X(CpH2p)〕mR’的單體，其中R是氫或甲基，R’是飽和或不飽和的C5-C12搭橋烷基，該烷基亦可被至少1個(gè)C1-C4的烷基或氫取代，X是氧或硫原子，n為2-4，p為0-4，m為0-2：(b)至少有一個(gè)C3-C15，α，β-不飽和，包含羧基的有3到15個(gè)碳原子的單體。增塑劑為含有羧基聚氨酯，分子量為10000-100000，自由羧基在主鏈，至少有一個(gè)烯鍵不飽和終端基團(tuán)。