一種含有特定粘合劑及增塑劑的干膜光阻劑

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201110047382.X 申請日 -
公開（公告）號 CN102650826B 公開（公告）日 2014-08-13
申請公布號 CN102650826B 申請公布日 2014-08-13
分類號 G03F7/004(2006.01)I;G03F7/033(2006.01)I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 邱紅斌;陸德凱 申請（專利權(quán)）人 中山市立順實業(yè)有限公司
代理機構(gòu) 上海天翔知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 中山市立順實業(yè)有限公司;珠海市能動科技光學(xué)產(chǎn)業(yè)有限公司
地址 528437 廣東省中山市火炬開發(fā)區(qū)科技大道北側(cè)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種水溶液顯影的干膜光阻劑，其組份中含有高分子粘合劑、游離基光引發(fā)劑、可加聚單體、增塑劑以及熱聚合抑制劑，其特征在于：高分子粘合劑是一種含有羧基的可形成薄膜的粘合劑，是由下述的混合物聚合得到：該混合物包括(a)分子式為H2C＝CRCOO〔(CnH2n)X(CpH2p)〕mR’的單體，其中R是氫或甲基，R’是飽和或不飽和的C5-C12搭橋烷基，該烷基亦可被至少1個C1-C4的烷基或氫取代，X是氧或硫原子，n為2-4，p為0-4，m為0-2：(b)至少有一個C3-C15，α，β-不飽和，包含羧基的有3到15個碳原子的單體。增塑劑為含有羧基聚氨酯，分子量為10000-100000，自由羧基在主鏈，至少有一個烯鍵不飽和終端基團。