一種用于圓弧形晶片腐蝕和清洗的花籃

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122041258.4 申請日 -
公開（公告）號 CN215834504U 公開（公告）日 2022-02-15
申請公布號 CN215834504U 申請公布日 2022-02-15
分類號 H01L21/673（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 龐昊;李勇勝 申請（專利權(quán)）人 合肥天曜新材料科技有限公司
代理機構(gòu) 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳桑
地址 230000安徽省合肥市經(jīng)開區(qū)芙蓉路合肥海恒投資控股集團(tuán)公司3#-B廠房
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種用于圓弧形晶片腐蝕和清洗的花籃，包括框架，還包括弧形支架、主動輥和傳動桿，所述框架由第一鏤空板和第二鏤空板組成，所述第一鏤空板和第二鏤空板平行設(shè)置，所述弧形支架安裝在框架的左右兩端，弧形支架內(nèi)側(cè)設(shè)置有限位槽，弧形支架為晶片提供支撐，所述主動輥安裝在框架的底部，主動輥用于帶動晶片進(jìn)行轉(zhuǎn)動，所述傳動桿用于帶動主動輥轉(zhuǎn)動。本實用新型在花籃兩側(cè)設(shè)置的弧形支架內(nèi)部采用圓弧形承接結(jié)構(gòu)，使晶片在腐蝕和清洗過程中受力均勻，避免晶片碎裂，同時能夠根據(jù)晶片的尺寸更改對應(yīng)的弧形支架，使得花籃能夠適應(yīng)多種尺寸的腐蝕和清洗使用。