旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201120382401.X 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN202347087U 公開(kāi)（公告）日 2012-07-25
申請(qǐng)公布號(hào) CN202347087U 申請(qǐng)公布日 2012-07-25
分類號(hào) C23C14/35(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 鄭錫輝;溫達(dá)明;靳新軍;陳春紅 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州豐裕機(jī)械工程有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利代理有限公司 代理人 蘇州豐裕機(jī)械工程有限公司;東莞豐裕電機(jī)有限公司
地址 215131 江蘇省蘇州市相城經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)蘇州豐裕機(jī)械工程有限公司
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)一種旋轉(zhuǎn)式磁控圓柱靶，包括靶頭及靶體，所述靶頭包括安裝座、空心軸、導(dǎo)水管、進(jìn)水嘴、出水嘴及驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述空心軸呈階梯狀結(jié)構(gòu)且樞接于所述安裝座上，所述導(dǎo)水管套接于所述空心軸內(nèi)，所述導(dǎo)水管的上端與所述進(jìn)水嘴連通，所述空心軸的上端與所述出水嘴連通，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)安裝于所述安裝座上且驅(qū)動(dòng)所述空心軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述靶體包括空心的靶材、靶材底座、空心的磁靴及永磁體，所述靶材上端與所述空心軸外徑較大的一端螺接，下端與所述靶材底座螺接，所述永磁體內(nèi)置于所述磁靴的內(nèi)部，所述磁靴內(nèi)置于所述靶材的內(nèi)部且與所述導(dǎo)水管的下端可拆卸地固定。本實(shí)用新型能防止磁鐵生銹、靶材侵蝕均勻、靶材更換方便。