一種光斑直徑檢測系統(tǒng)、方法及光斑能量分布檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110641994.5 申請日 -
公開（公告）號 CN113375576A 公開（公告）日 2021-09-10
申請公布號 CN113375576A 申請公布日 2021-09-10
分類號 G01B11/08（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 尹曉民 申請（專利權(quán)）人 上海光之虹光電通訊設備有限公司
代理機構(gòu) 北京沁優(yōu)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊敏
地址 200000上海市嘉定區(qū)迎園路400號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種光斑直徑檢測系統(tǒng)、方法及光斑能量分布檢測方法，包括探測環(huán)和設置在所述探測環(huán)內(nèi)部的探測器，所述探測環(huán)上沿其周向開設有若干個狹縫；所述探測環(huán)上還設置有用于驅(qū)動所述探測環(huán)繞其中心進行轉(zhuǎn)動的驅(qū)動結(jié)構(gòu)；光斑直徑檢測方法包括初始參數(shù)確定步驟，所述初始參數(shù)確定步驟包括調(diào)整所述固定位置一與探測環(huán)之間的距離，以使待測光線的光斑在沒有探測環(huán)遮擋的情況下能夠完全被探測器接收，以及，確定所述探測環(huán)上不同狹縫之間的距離和狹縫的角度，使光斑在任一時刻不會同時投射到兩個狹縫上，并使探測環(huán)在測試之初的相對位置唯一確定。本發(fā)明提供了一種新的光斑直徑檢測方法，檢測方便且精準。