一種刮晶圓邊緣殘金載臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202122188571.0 申請日 -
公開（公告）號 CN215955249U 公開（公告）日 2022-03-04
申請公布號 CN215955249U 申請公布日 2022-03-04
分類號 H01L21/683（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I;B08B1/00（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 杜俊坤;彭煒棠 申請（專利權(quán)）人 合肥新匯成微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥輝達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 汪守勇
地址 230000安徽省合肥市新站區(qū)合肥綜合保稅區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種刮晶圓邊緣殘金載臺，包括：載臺主體；工字形支撐架，所述工字形支撐架固定安裝于所述載臺主體的底部的中心處；擋柱，所述擋柱固定于所述載臺主體的邊側(cè)；所述真空控制閥安裝于所述載臺主體的底部；所述吸筆槽開設(shè)于所述載臺主體頂部的一側(cè)；環(huán)形凹槽，所述環(huán)形凹槽開設(shè)于所述載臺主體的頂部。本實(shí)用新型提供的刮晶圓邊緣殘金載臺，通過設(shè)置專用的載臺，通過擋柱和真空控制閥配合可以使晶圓片穩(wěn)定的吸附在載臺上，晶圓片不易破碎，然后可以進(jìn)行殘金刮除操作，不需要占用其他設(shè)備的機(jī)臺，不影響其他設(shè)備的工作產(chǎn)能，同時(shí)高度設(shè)置更加的適配工作人員，減輕工作人員的手臂負(fù)載，提高殘金刮除效果。