一種金凸塊制造濺鍍機(jī)用陶瓷洞板

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122190278.8 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN215947397U 公開(公告)日 2022-03-04
申請(qǐng)公布號(hào) CN215947397U 申請(qǐng)公布日 2022-03-04
分類號(hào) C23C14/34(2006.01)I;C23C14/56(2006.01)I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆;用金屬材料對(duì)材料的鍍覆;表面化學(xué)處理;金屬材料的擴(kuò)散處理;真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆;金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 趙運(yùn)強(qiáng);彭煒棠 申請(qǐng)(專利權(quán))人 合肥新匯成微電子股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 合肥輝達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 代理人 汪守勇
地址 230000安徽省合肥市新站區(qū)合肥綜合保稅區(qū)內(nèi)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供一種金凸塊制造濺鍍機(jī)用陶瓷洞板。所述金凸塊制造濺鍍機(jī)用陶瓷洞板,包括:安裝部,所述安裝部的一側(cè)開設(shè)有容納槽;熔射部,所述熔射部固設(shè)于所述容納槽的內(nèi)部,所述熔射部上開設(shè)有多個(gè)圓形凹槽。本實(shí)用新型提供的金凸塊制造濺鍍機(jī)用陶瓷洞板具有通過將濺鍍機(jī)中的熔射部的表面設(shè)置多個(gè)圓形凹槽,從而增大與Particle的接觸面積,提高吸附Particle能力加強(qiáng)的作用,可以減少保養(yǎng)后清洗維修成本與人力,提高了的使用壽命,增加了設(shè)備使用壽命,提升了產(chǎn)能。