一種防止顯微鏡鏡頭刮傷晶圓的裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121707202.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN215953956U | 公開（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215953956U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-04 |
| 分類號(hào) | G02B21/26（2006.01）I;G03F7/20（2006.01）I | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 杜俊坤;呂浩 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 合肥新匯成微電子股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 合肥輝達(dá)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 汪守勇 |
| 地址 | 230000安徽省合肥市新站區(qū)合肥綜合保稅區(qū)內(nèi) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型提供一種防止顯微鏡鏡頭刮傷晶圓的裝置。所述防止顯微鏡鏡頭刮傷晶圓的裝置，包括：主體架、連接螺栓、固定螺絲、第一螺母以及第二螺母；其中，所述連接螺栓設(shè)置于所述主體架上，所述固定螺絲設(shè)置于所述主體架的兩側(cè)。本實(shí)用新型提供一種防止顯微鏡鏡頭刮傷晶圓的裝置，通過主體架、連接螺栓、固定螺絲配合設(shè)置，主要用于對(duì)載物臺(tái)的高度進(jìn)行精準(zhǔn)定位，實(shí)現(xiàn)了對(duì)載物臺(tái)位置的準(zhǔn)確控制，利用第一螺母與第二螺母與連接螺栓之間的位置距離，作為載物臺(tái)的移動(dòng)范圍，針對(duì)經(jīng)驗(yàn)不足的操作人員來說，提供了直觀的參照，在調(diào)節(jié)載物臺(tái)時(shí)不會(huì)因?yàn)槲恢冒盐詹粶?zhǔn)確，而導(dǎo)致晶圓與鏡頭接觸磨損，在使用顯微鏡聚焦時(shí)更加方便、更加輕松。 |
