一種含氟氣體在線分析用預(yù)處理系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022348815.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN214201324U 公開(kāi)（公告）日 2021-09-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN214201324U 申請(qǐng)公布日 2021-09-14
分類(lèi)號(hào) G01N30/06 分類(lèi) 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 孫曉;高英武;王娟;李梅;魏磊 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 昊華氣體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 471012 河南省洛陽(yáng)市吉利區(qū)道南路12號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種含氟氣體在線分析用預(yù)處理系統(tǒng)，其特征是包括堿洗罐(1)、水洗罐(4)、真空泵(7)、冷凝器(10)、干燥器(14)和氣相色譜儀(16)，前述設(shè)備通過(guò)管線依次連接，真空泵(7)與冷凝器(10)之間管線通過(guò)四通與負(fù)壓系統(tǒng)和尾氣處理系統(tǒng)連接，冷凝器(10)與干燥器(14)之間管線通過(guò)四通與負(fù)壓系統(tǒng)和尾氣系統(tǒng)連接。該系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)氣體置換迅速、分析準(zhǔn)確、干燥完全，并易于維護(hù)，可有效降低操作人員工作量。