一種氣相色譜分析粗制三氟化氮氣體的方法及其閥路系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110934930.4 申請日 -
公開（公告）號 CN113655159A 公開（公告）日 2021-11-16
申請公布號 CN113655159A 申請公布日 2021-11-16
分類號 G01N30/20（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 謝騰升;王娟;張金彪;任章順;袁勝芳 申請（專利權(quán)）人 昊華氣體有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 471012 河南省洛陽市吉利區(qū)吉利科技園道南路黎明化工研究設(shè)計院吉利產(chǎn)業(yè)園辦公樓103室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種氣相色譜分析粗制三氟化氮氣體的方法及其閥路系統(tǒng)，采用兩閥兩柱的閥路系統(tǒng)，閥路系統(tǒng)包括1個十通閥、1個六通閥、2個定量環(huán)、2根色譜柱、2個檢測器、2個電子氣路控制模塊和2個壓力控制模塊，包括以下步驟：（1）在氣相色譜操作軟件上設(shè)定閥事件0min，十通閥和六通閥狀態(tài)為“關(guān)”，使三氟化氮樣品氣進入回收管線；（2）在氣相色譜操作軟件上設(shè)定閥事件0.03min，十通閥和六通閥為“開”，三氟化氮樣品氣分析出峰，其余組分依次在后檢測器上進行出峰；（3）在氣相色譜操作軟件上設(shè)定閥事件2.5min，十通閥1和六通閥為“關(guān)”，氮氣對組分吹掃進后檢測器上進行做樣分析。該方法靈敏度高且不出現(xiàn)正負峰波動問題，操作方便，分析準確。