一種高品質(zhì)晶體培植類(lèi)關(guān)鍵工藝環(huán)境振動(dòng)控制技術(shù)分析方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110185395.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN113031669A | 公開(kāi)（公告）日 | 2021-06-25 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113031669A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-25 |
| 分類(lèi)號(hào) | G05D19/02 | 分類(lèi) | 控制；調(diào)節(jié); |
| 發(fā)明人 | 胡明祎;黃偉;杜林林;郭金濤;許巖 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 國(guó)機(jī)集團(tuán)科學(xué)技術(shù)研究院有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京華旭智信知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 吳鵬章 |
| 地址 | 100032 北京市西城區(qū)太平街甲2號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供了一種高品質(zhì)晶體培植類(lèi)關(guān)鍵工藝環(huán)境振動(dòng)控制技術(shù)分析方法，包括：針對(duì)高品質(zhì)晶體培植關(guān)鍵生產(chǎn)工藝開(kāi)展內(nèi)部及外部環(huán)境振動(dòng)測(cè)試并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行歸類(lèi)整理，為精細(xì)化數(shù)值仿真分析提供數(shù)據(jù)支撐，為主動(dòng)控制系統(tǒng)及工藝技術(shù)分析標(biāo)準(zhǔn)提供關(guān)鍵控制變量；進(jìn)行前饋伺服主動(dòng)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，形成伺服前饋?lái)憫?yīng)智能振動(dòng)控制裝置的解決方案；基于工藝環(huán)境振動(dòng)控制技術(shù)分析標(biāo)準(zhǔn)判別減隔振系統(tǒng)是否達(dá)到工藝設(shè)計(jì)、生產(chǎn)要求，并優(yōu)化伺服前饋?lái)憫?yīng)智能振動(dòng)控制裝置的解決方案的性能。形成一套高品質(zhì)培植類(lèi)關(guān)鍵工藝環(huán)境振動(dòng)控制技術(shù)分析標(biāo)準(zhǔn)，獲得關(guān)鍵工藝內(nèi)外部振源影響的分析技術(shù)和晶體生長(zhǎng)基本規(guī)律及振動(dòng)影響機(jī)理，并設(shè)計(jì)了智能化主動(dòng)型伺服系統(tǒng)。 |
