一種高效多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201520551711.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN204825129U 公開(kāi)(公告)日 2015-12-02
申請(qǐng)公布號(hào) CN204825129U 申請(qǐng)公布日 2015-12-02
分類(lèi)號(hào) C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分類(lèi) 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 朱松濤;郭寬新;馮立學(xué);羅英明 申請(qǐng)(專利權(quán))人 泗陽(yáng)瑞泰光伏材料有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京品源專利代理有限公司 代理人 泗陽(yáng)瑞泰光伏材料有限公司
地址 223700 江蘇省宿遷市泗陽(yáng)縣經(jīng)濟(jì)開(kāi)發(fā)區(qū)東區(qū)淮海東路15號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開(kāi)了一種高效多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),高效多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)包括坩堝、隔熱籠組件以及加熱器部件,隔熱籠組件包括頂隔熱板、側(cè)隔熱板及下隔熱板,加熱器部件包括頂部加熱器、側(cè)部加熱器;坩堝的外側(cè)部及底部包覆有石墨護(hù)板;石墨護(hù)板和側(cè)部加熱器之間設(shè)有石墨氈;石墨氈使側(cè)部加熱器對(duì)坩堝中硅料的直接熱輻射降低,坩堝邊緣和中心的溫差降低,降低了橫向溫度梯度,使硅料按照從上向下的順序熔化,籽晶碎硅料預(yù)留高度較均勻,有效的保證了高效鑄錠的可操作性和成功率。本實(shí)用新型的高效多晶硅鑄錠爐的熱場(chǎng)結(jié)構(gòu),有效提高鑄錠晶體的品質(zhì),減少多晶硅的內(nèi)部缺陷,并且提高熱能利用率,減少了能耗。