一種壓電微泵支承結(jié)構(gòu)及氣體控制裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022082524.3 申請日 -
公開（公告）號 CN213063904U 公開（公告）日 2021-04-27
申請公布號 CN213063904U 申請公布日 2021-04-27
分類號 F04B43/04;F04B53/00 分類 液體變?nèi)菔綑C械；液體泵或彈性流體泵;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請（專利權(quán)）人 常州威圖流體科技有限公司
代理機構(gòu) 常州佰業(yè)騰飛專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 ?，摤?/td>
地址 213164 江蘇省常州市武進區(qū)常武中路18號常州科教城惠研樓北樓2521室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型屬于流體輸送設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種壓電微泵支承結(jié)構(gòu)及氣體控制裝置。一種壓電微泵支承結(jié)構(gòu)，包括壓電微泵，包括共振板、壓電振子和電極組件，共振板和壓電振子依次層疊設(shè)置，壓電振子的遠(yuǎn)離共振板的一側(cè)連接有電極組件；底板，與壓電微泵的遠(yuǎn)離共振板的一端連接且兩者之間間隙形成進氣腔，底板對壓電微泵進行支撐和約束。一種氣體控制裝置，包括壓電微泵支承結(jié)構(gòu)；外殼罩設(shè)在壓電微泵外部，并與電極組件密封連接以形成出氣腔，外殼上形成有與出氣腔連通的出氣通孔。解決了現(xiàn)有技術(shù)中的壓電微泵需通過周向延伸的連接部連接至外圍的支承部上，支承部被層壓固定，大大加大了壓電泵的體積的技術(shù)問題。