一種多向MEMS掃描裝置
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201910540290.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN110275288B | 公開（公告）日 | 2021-06-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN110275288B | 申請(qǐng)公布日 | 2021-06-22 |
| 分類號(hào) | G02B26/08 | 分類 | 光學(xué); |
| 發(fā)明人 | 蘭樹明 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 無錫迅杰光遠(yuǎn)科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 無錫華源專利商標(biāo)事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 聶啟新 |
| 地址 | 214135 江蘇省無錫市菱湖大道200號(hào)中國(guó)傳感網(wǎng)國(guó)際創(chuàng)新園G1-1006 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明公開了一種多向MEMS掃描裝置，涉及激光掃描技術(shù)領(lǐng)域，該多向MEMS掃描裝置采用兩個(gè)以上的二維掃描微鏡級(jí)聯(lián)，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)待測(cè)樣品的多方向同時(shí)掃描，可以大大提高掃描效率；且每個(gè)微鏡可以獨(dú)立控制使得掃描單元實(shí)現(xiàn)任意圖形的掃描，在實(shí)際應(yīng)用時(shí)可以針對(duì)不同的待測(cè)樣品匹配不同的掃描圖形，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)變化測(cè)量，掃描自由度和靈活度高。該多向MEMS掃描裝置結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，采用MEMS工藝設(shè)計(jì)大大減小了裝置的體積和成本。 |
