一種高縱橫比精密蝕刻器件加工工藝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011056138.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112207445A 公開（公告）日 2021-01-12
申請(qǐng)公布號(hào) CN112207445A 申請(qǐng)公布日 2021-01-12
分類號(hào) B23K26/362;B23K26/60;B23K26/70;H05K3/02;B23K101/42 分類 機(jī)床；不包含在其他類目中的金屬加工;
發(fā)明人 吳子明 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳光韻達(dá)激光應(yīng)用技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳正和天下專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 吳子明;深圳光韻達(dá)激光應(yīng)用技術(shù)有限公司;曹漢宜
地址 518000 廣東省深圳市南山區(qū)高新區(qū)北區(qū)朗山路13號(hào)清華紫光科技園1層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種高縱橫比精密蝕刻器件加工工藝，包括以下步驟，S1：預(yù)備用于進(jìn)行蝕刻加工處理的金屬材料，對(duì)該金屬材料的表面進(jìn)行清潔處理S2：在上述預(yù)備的金屬材料層表面貼附或涂覆一層抗蝕刻膜層或膠帶層；S3：進(jìn)行激光加工刻蝕處理；利用激光光束刻蝕去除部分預(yù)設(shè)的待刻蝕金屬材料，形成激光槽孔；S4：采用激光進(jìn)行刻蝕處理的過程中，對(duì)所述抗蝕刻膜層或膠帶層進(jìn)行局部去除處理，用于后續(xù)進(jìn)行再次刻蝕圖形，利用在平面的材料上，透過事先局部加工好槽孔，方便在藥水蝕刻時(shí)，藥水更容易的進(jìn)入材料的中間，從材料的中間與表面同步刻蝕，降低傳統(tǒng)蝕刻，只能從材料的表面蝕刻，從而導(dǎo)致嚴(yán)重的側(cè)蝕現(xiàn)象。