一種方硅芯鑄錠爐腔體結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022355018.7 申請日 -
公開（公告）號 CN214032750U 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號 CN214032750U 申請公布日 2021-08-24
分類號 C30B28/06（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐永亮;白斌;徐養(yǎng)毅;張國華 申請（專利權(quán)）人 蘇州昀豐半導(dǎo)體裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州潤桐嘉業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐鳴
地址 215600江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)（楊舍鎮(zhèn)）晨豐公路1436號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種方硅芯鑄錠爐腔體結(jié)構(gòu)，主要以解決現(xiàn)有方硅芯鑄錠爐在硅芯鑄錠過程中內(nèi)部抗壓形變能力差的問題。包括：上爐體、下爐體、頂部內(nèi)側(cè)板、頂部外側(cè)板、側(cè)部內(nèi)側(cè)板與側(cè)部外側(cè)板，下爐體設(shè)置在上爐體的下部；頂部內(nèi)側(cè)板設(shè)置在上爐體內(nèi)部上；頂部外側(cè)板設(shè)置在上爐體外部上側(cè)部內(nèi)側(cè)板設(shè)置在上爐體與下爐體的內(nèi)部四側(cè)；側(cè)部外側(cè)板設(shè)置在上爐體與下爐體的外部四側(cè)；上爐體與下爐體的頂部與前后部依次設(shè)有第一橫向加強筋、第二橫向加強筋、第三橫向加強筋與第四橫向加強筋。本實用新型獲得了抗壓能力好、穩(wěn)定性好的優(yōu)點。