一種方硅芯鑄錠爐裝置及使用方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202011134428.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN112239887A 公開（公告）日 2021-01-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN112239887A 申請(qǐng)公布日 2021-01-19
分類號(hào) C30B28/06;C30B29/06 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 徐永亮;白斌;李振;徐養(yǎng)毅;周春霞 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州昀豐半導(dǎo)體裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州潤(rùn)桐嘉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐鳴
地址 215600 江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)（楊舍鎮(zhèn)）晨豐公路1436號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種方硅芯鑄錠爐裝置，涉及硅片加工技術(shù)領(lǐng)域。在本申請(qǐng)中，硅芯生產(chǎn)裝置，包括：機(jī)體設(shè)置在平面上，機(jī)體包括：前側(cè)機(jī)架呈豎直設(shè)置在平面上；后側(cè)機(jī)架位于前側(cè)機(jī)架的一側(cè)；左側(cè)頂梁位于前側(cè)機(jī)架的上方一側(cè)；側(cè)部下梁位于前側(cè)機(jī)架的下方一側(cè)；前側(cè)機(jī)架、后側(cè)機(jī)架、左側(cè)頂梁、側(cè)部下梁組合形成框架，框架設(shè)置有兩組呈對(duì)稱設(shè)置；橫梁位于兩組框架之間；腔體設(shè)置在機(jī)體的內(nèi)部；升降裝置設(shè)置在機(jī)體的一側(cè)；導(dǎo)向裝置設(shè)置在腔體的下方；坩堝設(shè)置在腔體的內(nèi)部；工裝夾具設(shè)置在外置裝置上。本發(fā)明用于解決現(xiàn)有技術(shù)中硅芯鑄錠完成后需要將下爐體進(jìn)行橫向移出然后在進(jìn)行取料導(dǎo)致設(shè)備占地空間大、操作繁瑣的問題。