一種方硅芯鑄錠爐的加熱器結(jié)構(gòu)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022355021.9 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN214032751U 公開（公告）日 2021-08-24
申請公布號(hào) CN214032751U 申請公布日 2021-08-24
分類號(hào) C30B28/06（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I 分類 晶體生長〔3〕;
發(fā)明人 徐永亮;李振;徐養(yǎng)毅 申請（專利權(quán)）人 蘇州昀豐半導(dǎo)體裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州潤桐嘉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐鳴
地址 215600江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)（楊舍鎮(zhèn)）晨豐公路1436號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種方硅芯鑄錠爐的加熱器結(jié)構(gòu)，主要以解決電阻分配和功率分配對(duì)稱性較差，使得現(xiàn)有方硅芯爐熱場溫度分布不均的問題。包括：側(cè)加熱器、頂加熱器與石墨電極，所述側(cè)加熱器由側(cè)加熱板組成，所述側(cè)加熱板分為四個(gè)，分別設(shè)置為前后對(duì)稱與左右對(duì)稱；所述頂加熱器設(shè)置在所述側(cè)加熱器的上方，所述頂加熱器包括第一加熱板、第二加熱板與第三加熱板，所述第二加熱板連接所述第一加熱板；所述第三加熱板連接所述第二加熱板，所述石墨電極連接在所述側(cè)加熱器與所述頂加熱器上。本實(shí)用新型獲得了加熱器電阻和功率分配對(duì)稱性好，利于形成均勻的溫度分布，有助于提高硅晶體品質(zhì)的優(yōu)點(diǎn)。