一種方硅芯鑄錠爐真空系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022354995.5 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214361838U 公開（公告）日 2021-10-08
申請(qǐng)公布號(hào) CN214361838U 申請(qǐng)公布日 2021-10-08
分類號(hào) C30B29/06（2006.01）I;C30B28/06（2006.01）I;F04B37/14（2006.01）I;F04B49/06（2006.01）I;F04B49/20（2006.01）I 分類 晶體生長(zhǎng)〔3〕;
發(fā)明人 徐永亮;周春霞;白斌;徐養(yǎng)毅 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州昀豐半導(dǎo)體裝備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州潤(rùn)桐嘉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 徐鳴
地址 215600江蘇省蘇州市張家港經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)（楊舍鎮(zhèn)）晨豐公路1436號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種方硅芯鑄錠爐真空系統(tǒng)，主要以解決現(xiàn)有鑄錠爐中爐腔壓力的控制不穩(wěn)定的問(wèn)題。包括：上腔體，所述上腔體具有爐體左出氣口與爐體右出氣口，所述爐體左出氣口位于所述上腔體的左側(cè)；所述爐體右出氣口位于所述上腔體的右側(cè)；爐體抽氣管，所述爐體抽氣管連接所述爐體左出氣口與所述爐體右出氣口；真空管道主抽閥，所述真空管道主抽閥與所述爐體抽氣管相連接；干泵機(jī)組，所述干泵機(jī)組與所述真空管道主抽閥相連接。本實(shí)用新型獲得了壓力控制穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)。