一種單片集成的紫外焦平面器件及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201610292166.4 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN107346774A 公開（公告）日 2017-11-14
申請(qǐng)公布號(hào) CN107346774A 申請(qǐng)公布日 2017-11-14
分類號(hào) H01L27/146(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李成 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海芯晨科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所 代理人 余明偉
地址 201800 上海市嘉定區(qū)平城路811號(hào)422室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種單片集成的紫外焦平面器件及其制備方法，包括：制備于同一襯底上的光電二極管陣列和讀出電路；提供一襯底，根據(jù)設(shè)計(jì)布局在所述襯底上刻蝕溝槽，確定各光敏元的位置；利用外延生長(zhǎng)技術(shù)，在所述溝槽內(nèi)逐層形成N型外延層及P型外延層；刻蝕所述P型外延層以露出部分所述N型外延層；在所述襯底上制備讀出電路中的各器件；制作各光敏元的電極，通過金屬線將各電極與所述讀出電路中相應(yīng)的器件連接。本發(fā)明的單片集成的紫外焦平面器件及其制備方法將光電二極管陣列和讀出電路制備于同一襯底上，避免了鍵合等復(fù)雜的制備工藝，提高產(chǎn)品的良率，大大簡(jiǎn)化生產(chǎn)工藝，降低生產(chǎn)成本，有利于紫外焦平面器件的大規(guī)模生產(chǎn)。