一種人民幣防偽檢測傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201610281971.7 申請日 -
公開（公告）號 CN107342337A 公開（公告）日 2017-11-10
申請公布號 CN107342337A 申請公布日 2017-11-10
分類號 H01L31/0304(2006.01)I;H01L31/12(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I;G07D7/121(2016.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 李成 申請（專利權）人 上海芯晨科技有限公司
代理機構 上海光華專利事務所 代理人 余明偉
地址 201800 上海市嘉定區(qū)平城路811號422室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種人民幣防偽檢測傳感器及其制備方法，包括：單片集成的紫外發(fā)光二極管、藍光光敏二極管及綠光光敏二極管；提供一襯底，根據(jù)設計布局在所述襯底上刻蝕溝槽，確定紫外發(fā)光二極管的位置；在所述溝槽內逐層形成緩沖層、N型外延層及P型外延層；在所述襯底及所述P型外延層表面形成第一保護層；采用離子注入方式在所述襯底中形成摻雜區(qū)，所述摻雜區(qū)與所述襯底形成光敏二極管；分別制作各器件的接觸電極，并在光敏二極管的表面分別形成藍光濾光膜和綠光濾光膜。本發(fā)明將紫外發(fā)光二極管、藍光光敏二極管及綠光光敏二極管集成于同一襯底上，大大減小了人民幣防偽檢測傳感器的體積和生產成本，擴大了人民幣防偽檢測傳感器的應用面。