一種人民幣防偽檢測(cè)傳感器及其制備方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201610281971.7 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN107342337B | 公開(kāi)（公告）日 | 2020-01-24 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN107342337B | 申請(qǐng)公布日 | 2020-01-24 |
| 分類(lèi)號(hào) | H01L31/0304;H01L31/12;H01L31/18;G07D7/121 | 分類(lèi) | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 李成 | 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 | 上海芯晨科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專(zhuān)利事務(wù)所(普通合伙) | 代理人 | 余明偉 |
| 地址 | 201800 上海市嘉定區(qū)平城路811號(hào)422室 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種人民幣防偽檢測(cè)傳感器及其制備方法，包括：?jiǎn)纹傻淖贤獍l(fā)光二極管、藍(lán)光光敏二極管及綠光光敏二極管；提供一襯底，根據(jù)設(shè)計(jì)布局在所述襯底上刻蝕溝槽，確定紫外發(fā)光二極管的位置；在所述溝槽內(nèi)逐層形成緩沖層、N型外延層及P型外延層；在所述襯底及所述P型外延層表面形成第一保護(hù)層；采用離子注入方式在所述襯底中形成摻雜區(qū)，所述摻雜區(qū)與所述襯底形成光敏二極管；分別制作各器件的接觸電極，并在光敏二極管的表面分別形成藍(lán)光濾光膜和綠光濾光膜。本發(fā)明將紫外發(fā)光二極管、藍(lán)光光敏二極管及綠光光敏二極管集成于同一襯底上，大大減小了人民幣防偽檢測(cè)傳感器的體積和生產(chǎn)成本，擴(kuò)大了人民幣防偽檢測(cè)傳感器的應(yīng)用面。 |
