鋁碳化硅熱沉基板及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201710091257.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN106987836B 公開（公告）日 2019-10-15
申請(qǐng)公布號(hào) CN106987836B 申請(qǐng)公布日 2019-10-15
分類號(hào) C23C24/08;C03C8/24;C03C12/00 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 吳世清 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳市如器科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 518000 廣東省深圳市龍崗區(qū)坂田街道雪象下雪村牛古嶺8號(hào)一棟5樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種鋁碳化硅熱沉基板及其制備方法，其采用低溫玻璃粉和調(diào)油墨組配制漿料，再燒結(jié)于鋁碳化硅襯底上，大幅度降低絕緣層的燒結(jié)溫度至450?550℃，制得的鋁碳化硅熱沉基板具有良好的層間結(jié)合力和絕緣性能，熱膨脹系數(shù)低，厚膜絕緣層的耐熱性良好。